Technologie de fabrication des circuits intégrés
Aperçu des sections
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Chapitre 1 : Introduction à la Technologie des Semi-conducteurs
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Purification du silicium et fabrication du cristal.
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Les techniques d'élaboration des couches minces
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La photolithoraphie et les techniques de gravure
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Photolithographie et Techniques de gravure.
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La Salle Blanche et la Salle de Montage
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